傾角傳感器又稱(chēng)作傾斜儀、測(cè)斜儀、水平儀、傾角計(jì)，常用于系統(tǒng)的水平角度變化測(cè)量，此類(lèi)傳感器過(guò)去只是簡(jiǎn)單的水泡水平儀，隨著自動(dòng)化和電子測(cè)量技術(shù)的發(fā)展，傾角傳感器的種類(lèi)也逐漸增多，從工作原理上可分為“固體擺”式、“液體擺”式、“氣體擺”三種傾角傳感器，下面我們了解一下它們的工作原理。

1、固體擺式傾角傳感器

固體擺在設(shè)計(jì)中廣泛采用力平衡式伺服系統(tǒng)，如圖所示，其由擺錘、擺線(xiàn)、支架組成， 擺錘受重力G和擺拉力T的作用，其合外力F ＝G sinθ＝mg sinθ。其中，θ為擺線(xiàn)與垂直方向的夾角。在小角度范圍內(nèi)測(cè)量時(shí)，可以認(rèn)為F與θ成線(xiàn)性關(guān)系，應(yīng)變式傾角傳感器就基于此原理。

2、液體擺式傾角傳感器

液體擺的結(jié)構(gòu)原理是在玻璃殼體內(nèi)裝有導(dǎo)電液，并有三根鉑電極和外部相連接，三根電極相互平行且間距相等，如圖所示。當(dāng)殼體水平時(shí)，電極插入導(dǎo)電液的深度相同。如果在兩根電極之間加上幅值相等的交流電壓時(shí)，電極之間會(huì)形成離子電流，兩根電極之間的液體相當(dāng)于兩個(gè)電阻RI和RIII。若液體擺水平時(shí)，則RI＝RIII。

當(dāng)玻璃殼體傾斜時(shí)，電極間的導(dǎo)電液不相等，三根電極浸入液體的深度也發(fā)生變化，但中間電極浸入深度基本保持不變。左邊電極浸入深度小，則導(dǎo)電液減少，導(dǎo)電的離子數(shù)減少，電阻RI增大，相對(duì)極則導(dǎo)電液增加，導(dǎo)電的離子數(shù)增加，而使電阻RIII 減少，即RI＞RIII。反之，若傾斜方向相反，則RI＜RIII。

在液體擺的應(yīng)用中也有根據(jù)液體位置變化引起應(yīng)變片的變化，從而引起輸出電信號(hào)變化而感知傾角的變化。在實(shí)用中除此類(lèi)型外，還有在電解質(zhì)溶液中留下一氣泡，當(dāng)裝置傾斜時(shí)氣泡會(huì)運(yùn)動(dòng)使電容發(fā)生變化而感應(yīng)出傾角的“液體擺”。

3、氣體擺式傾角傳感器

“氣體擺”式慣性元件由密閉腔體、氣體和熱線(xiàn)組成，當(dāng)腔體所在平面相對(duì)水平面傾斜或腔體受到加速度的作用時(shí)，熱線(xiàn)的阻值發(fā)生變化，并且熱線(xiàn)阻值的變化是角度q或加速度的函數(shù)，因而也具有擺的效應(yīng)。其中熱線(xiàn)阻值的變化是氣體與熱線(xiàn)之間的能量交換引起的。

“氣體擺”式慣性器件的敏感機(jī)理基于密閉腔體中的能量傳遞，在密閉腔體中有氣體和熱線(xiàn)，熱線(xiàn)是唯一的熱源。當(dāng)裝置通電時(shí)，對(duì)氣體加熱。在熱線(xiàn)能量交換中對(duì)流是主要形式。

氣體擺式檢測(cè)器件的核心敏感元件為熱線(xiàn)。電流流過(guò)熱線(xiàn)，熱線(xiàn)產(chǎn)生熱量，使熱線(xiàn)保持一定的溫度。熱線(xiàn)的溫度高于它周?chē)鷼怏w的溫度，動(dòng)能增加，所以氣體向上流動(dòng)。在平衡狀態(tài)時(shí)，熱線(xiàn)處于同一水平面上，上升氣流穿過(guò)它們的速度相同，即V1＝V1′，這時(shí)，氣流對(duì)熱線(xiàn)的影響相同，流過(guò)熱線(xiàn)的電流也相同，電橋平衡。當(dāng)密閉腔體傾斜時(shí)，熱線(xiàn)相對(duì)水平面的高度發(fā)生了變化，因?yàn)槊荛]腔體中氣體的流動(dòng)是連續(xù)的，所以熱氣流在向上運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，依次經(jīng)過(guò)下部和上部的熱線(xiàn)。若忽略氣體上升過(guò)程中克服重力的能量損失，則穿過(guò)上部熱線(xiàn)的氣流已經(jīng)與下部熱線(xiàn)的產(chǎn)生熱交換，使穿過(guò)兩根熱線(xiàn)時(shí)的氣流速度不同，因此流過(guò)兩根熱線(xiàn)的電流也會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化，所以電橋失去平衡，輸出一個(gè)電信號(hào)。傾斜角度不同，輸出的電信號(hào)也不同。

固、液、氣體擺性能比較

就基于固體擺、液體擺及氣體擺原理研制的傾角傳感器而言，它們各有所長(zhǎng)。在重力場(chǎng)中，固體擺的敏感質(zhì)量是擺錘質(zhì)量，液體擺的敏感質(zhì)量是電解液，而氣體擺的敏感質(zhì)量是氣體。

氣體是密封腔體內(nèi)的唯一運(yùn)動(dòng)體，它的質(zhì)量較小，在大沖擊或高過(guò)載時(shí)產(chǎn)生的慣性力也很小，所以具有較強(qiáng)的抗振動(dòng)或沖擊能力。但氣體運(yùn)動(dòng)控制較為復(fù)雜，影響其運(yùn)動(dòng)的因素較多，其精度無(wú)法達(dá)到軍用武器系統(tǒng)的要求。

固體擺傾角傳感器有明確的擺長(zhǎng)和擺心，其機(jī)理基本上與加速度傳感器相同。在實(shí)用中產(chǎn)品類(lèi)型較多如電磁擺式，其產(chǎn)品測(cè)量范圍、精度及抗過(guò)載能力較高，在武器系統(tǒng)中應(yīng)用也較為廣泛。

液體擺傾角傳感器介于兩者之間，但系統(tǒng)穩(wěn)定，在高精度系統(tǒng)中，應(yīng)用較為廣泛，且國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品多為此類(lèi)。

目前，傾角傳感器成為橋梁架設(shè)、鐵路鋪設(shè)、土木工程、石油鉆井、航空航海、工業(yè)自動(dòng)化、智能平臺(tái)、機(jī)械加工等領(lǐng)域不可缺少的重要測(cè)量工具。